電容式變送器有一個可變電容的傳感組件，稱為“δ"室。該傳感器是一個完全封閉的組件。過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成(4～20)mA的兩線制輸出的電信號。電子放大電路由解調器、振蕩器、振蕩控制放大器、電流檢測器、電流控制放大器、電流限制控制器、基準電壓、穩壓器等組成。通過它們對電容信號進行檢測，從而控制振蕩頻率，再將其轉換為電流輸出。
電容變送器優點：
可做到極低壓力
2.抗過載能力強
3.精度高
缺點：
1.高壓測量缺乏優勢
2.傳感器封裝工藝要求高
擴散硅壓力變送器通過溫度傳感器把溫度信號變為電信號，再由前置放大器把此電信號放大濾波，送往CPU的A/D
轉換模塊進行模擬量到數字量的變換。最后由CPU進行數據處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下：
被側介質---〉傳感器---〉電子線路---〉輸出信號
被測介質的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴散硅膜片/上，使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移，正常工作狀態下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉換成對應于這一壓力的標準工業測量信號。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結構上保證了膜片不會產生過大變形，該傳感器具有很好的穩定性和高可靠性。
擴散硅壓力變送器的主要特點
1、穩定性高-每年優于0.1%滿量程。
2、溫度偏移小-由于取消了測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度.
3、可靠性好-采用大規模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強。
4、適用性廣-產品具有多種型號，多種過程連接形式，可適應工業測量中的各種介質。
5、安裝維護簡便產品結構合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。
缺點是：
1.低于0℃后，溫度穩定性大幅度降低
2.不能承受動態壓力
3.膜片較易損傷
